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雙室雙聯真空循環脫氣爐及太陽能級多晶硅的制備

766 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 14:34:26

本發明公開了一種雙室雙聯真空循環脫氣爐及太陽能級多晶硅的制備,該雙室雙聯真空循環脫氣爐包括:上下設置的上真空室和下真空室,中間通過兩根連接管連接,其中的一根作為上行管,另一根作為下行管;其制備方法包括:1)將冶金硅料放入下真空室,加熱形成硅液,同時對上真空室加熱;2)下真空室的硅液通過兩根連接管連接到上真空室;3)對上下真空室分別進行抽真空;同時,對上行管中通入氣體;4)通過控制上下真空室之間的壓力差和對上行管中通入氣體,使硅液在上下真空室間循環,得到太陽能級多晶硅原料。本發明能生產出成份均勻、硼磷含量較低的太陽能級多晶硅原料,并能量產,而且該太陽能級多晶硅原料能直接進行鑄錠或拉單晶。

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聲明：

“雙室雙聯真空循環脫氣爐及太陽能級多晶硅的制備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)