本發明提供了一種物理冶金多晶硅太陽能電池的磷擴散方法,包括,1)將清洗制絨后的硅片進行第一恒溫熱處理;2)將經步驟1)處理后的硅片進行第二恒溫熱處理;3)將經步驟2)處理后的硅片進行氧化處理;4)向步驟3)處理后的硅片通磷源進行磷擴散處理;5)將經步驟4)處理后的硅片進行退火處理。本發明的擴散方法應用于物理冶金硅太陽電池制備中,可節約成本,提高產能,所形成的PN結,表面雜質濃度低,雜質分布均勻,擴散均勻性好,減小了死層效應,有利于電子的收集,降低了太陽能電池因復合造成的效率損失,從而提高了電池片的最終光電轉換效率。
聲明:
“物理冶金多晶硅太陽能電池的磷擴散方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)