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    磁控管陰極用磁控線圈原料粉末及其制備方法

    902   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:45:02
    本發明提供一種磁控管陰極用磁控線圈原料粉末及其制備方法,屬于粉末冶金制造領域。本發明粉末為以下材料制成:質量分數為96.37~98.68mt%藍鎢WO2.9粉末,質量分數為1.32~3.63mt%硝酸釷藍鎢WO2.9粉末和硝酸釷溶液。本發明的制造方法包括粉末制備、摻雜、還原等步驟。本發明利用藍鎢WO2.9顆粒具有多孔“蜂窩狀”結構,吸附能力強、表面活性好等特性,使硝酸釷與藍鎢WO2.9摻雜更加均勻。將摻雜后的粉末進行干燥還原。還原在還原爐中進行,采用H2氣氛及溫度等工藝控制,得出適合粉末冶金成型的混合均勻的釷鎢粉末。
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