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    Al-Sc-X多元合金靶材及其制備方法

    828   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:45:26
    本發明屬于合金靶材及粉末冶金材料加工技術領域，具體提供了一種Al?Sc?X多元合金靶材，所述Al?Sc?X合金靶材由以下重量百分比計的組分組成：50％～98％Al，1％～48％Sc，1％～49％X，其中所述X為Si、Mg、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Y、Nb、Mo、Ta、W和Ag中的一種或多種，該合金靶材可以拓展鋁鈧合金靶材應用范圍。本發明進一步提供了一種Al?Sc?X多元合金靶材的制備方法，該方法采用粉末冶金熱壓燒結制備合金靶材，解決了與Al的熔點相差較大的金屬與Al難以實現冶金結合的問題，且Sc和X不易發生氧化反應，該方法制備流程短，技術參數控制準確，適合批量生產。
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