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    > 金屬硅化物的表面改性方法、利用表面改性的金屬硅化物的三氯硅烷的制備方法及裝置

    金屬硅化物的表面改性方法、利用表面改性的金屬硅化物的三氯硅烷的制備方法及裝置

    738   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:45:27
    根據本發明的實施例的三氯硅烷的制備方法包括：向反應部供給表面改性的金屬硅化物和冶金級硅的步驟；向所述反應部供給四氯硅烷和氫的步驟；以及，將在所述反應部內，在所述金屬硅化物的存在下，由冶金級硅、四氯化硅烷和氫之間的反應生成的生成物，供給到分離部，分離三氯硅烷成分的步驟。利用根據本發明實施例的三氯硅烷的制備方法進行四氯硅烷氫氯化反應時，能夠提高三氯硅烷的收率。
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