激光雙軸共焦誘導擊穿-拉曼光譜成像探測方法與裝置

本發明屬于光譜測量及成像技術領域，涉及一種激光雙軸共焦誘導擊穿光譜-拉曼光譜成像探測方法及裝置，可用于樣品的微區組分與形態參數的高空間分辨成像與探測。該方法與裝置利用激光誘導擊穿光譜探測樣品組分的元素組成信息；利用拉曼光譜探測樣品的化學鍵與分子結構信息；利用雙軸共焦技術探測樣品表面形貌信息，雙軸結構具有大視場、大工作距的優勢，并可有效抑制背向散射影響，提高光譜探測信噪比；三者聯用可實現結構共用和功能互補，實現樣品的形貌和組分信息的綜合測量。本發明具有高空間分辨，物質組分信息豐富和測量聚焦光斑尺寸可控等優點，在礦產、冶金、空間探測、環境監測、生物醫療等領域有廣泛的應用前景。