• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 冶金技術

    > 電冶金技術

    > 集成電路元件的形成方法

    集成電路元件的形成方法

    1102   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:45:35
    本發明公開了一種集成電路元件的形成方法,根據一實施例提供一種具有基腳形狀的銅柱工藝,在凸塊下冶金層上采用兩道不同光敏性及厚度的光致抗蝕劑膜。在曝光顯影工藝后,在第一光致抗蝕劑膜中形成具有實質上垂直的側壁的第一開口,并在第二光致抗蝕劑層中形成具有傾斜側壁的第二開口。第二開口的底部直徑大于第二開口的頂部直徑,且第二開口的底部直徑大于第一開口的直徑。接著形成導電層于第一開口及第二開口中,之后移除兩道光致抗蝕劑膜。本發明在不需額外化學或等離子體工藝的情況下,即可輕易定義基腳形狀的尺寸,大幅節省制造成本。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “集成電路元件的形成方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    電冶金技術
    上一個：靶材的焊接檢測方法
    下一個：共燃式熱風爐

    與 “集成電路元件的形成方法” 相關技術

    ? 具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
    ? 鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
    ? 金屬礦山井下超前探水的方法
    ? 金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
    ? 金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
    ? BOPP邊條回收破碎機進料裝置
    ? 用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
    ? 稀土硅合金生產用碎粒裝置
    ? 輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
    ? 擺動對輥破碎機

    相關電冶金設備推薦

    平板式全自動離心機
    餐廚垃圾干燥機
    中頻感應熔煉爐
    離心噴霧造粒干燥機
    大容積立式爐（電阻絲五面加熱）
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
    ?鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
    ?金屬礦山井下超前探水的方法
    ?金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
    ?金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
    ?BOPP邊條回收破碎機進料裝置
    ?用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
    ?稀土硅合金生產用碎粒裝置
    ?輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
    ?擺動對輥破碎機

    報名參會
    更多+

    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    2025年07月23日 ~ 26日
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月01日 ~ 03日

    報告下載

    1 鋰資源綜合利用關鍵技術
    下載:192
    2 綠色高效提煉稀有金屬的研究
    下載:162
    3 我國主要有色金屬濕法冶金技術現
    下載:156
    4 銅冶煉過程砷的控制和無害化處置
    下載:134
    5 銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合
    下載:116
    6 紅土鎳礦加壓浸出及精煉新工藝
    下載:115
    7 礦相重構鋰云母礦以同步提取鋰銣
    下載:111
    8 雙碳戰略背景下的我國銅工業
    下載:110
    9 硫代硫酸鹽綠色提金及銅冶金固廢
    下載:108
    10 赤泥脫硫脫硝、回收鐵鋁及固化重
    下載:107
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1鉬污染處理研究進展
    2多工能一體化含砷金礦生物氧化槽
    3金礦石粉末循環金粉提煉設備
    4從紅土鎳礦中回收有價金屬及酸再生循環的方法
    5生產磷酸鐵的方法
    6火法煉銅技術方法概述
    7硫酸錳溶液除雜方法
    8從鎳鐵合金中高效分離鎳和鐵的方法
    9氧化鎳礦熔融還原硫化生產低冰鎳的方法
    10氧化銅礦浸出方法
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>