本發明涉及冶金和/或化學領域,更特別涉及用于生產四氟化硅氣體和由所述四氟化硅氣體生產多晶硅的方法和設備。用于由氟硅酸溶液生產四氟化硅的方法包括:生成、洗滌、干燥、分解酸提取物、將未分離的四氟化硅和氟化氫流鼓泡通過二氧化硅。硅生產方法包括使四氟化硅氣體和鎂蒸氣相互反應,然后分離最終產物。本發明可以生產高純硅、提高最終產率、改進生產的環保特性、簡化硅生產過程并降低最終產物的生產成本。
聲明:
“生產多晶硅的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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