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    太陽能電池的基板和其生產方法

    729   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:01
    本發明的多個方面包括用于在基板上沉積硅的方法。在某些實施例中,所述方法包括以足以將所述硅沉積在所述基板上的方式來將包含硅的基板暴露于鹵代硅烷。在某些實施例中,所述方法包括提供基板、一或多個氣體源以及反應容器,所述反應容器與所述基板和所述一或多個氣體源流體連通。在某些實施例中,所述基板是可經受純化法來處理的低級或冶金級硅。在某些實施例中,反應容器是包括移動床(諸如,包含硅的流化床)的粒子床反應容器,并且所述氣體包括鹵化物。
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