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    集成電路陶瓷電路板表面銅-石墨烯復合涂層及其制備方法

    937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:02
    本發明公開了一種集成電路陶瓷電路板表面銅?石墨烯復合涂層及其制備方法。該復合涂層從里到外由過渡金屬（M）擴散層、過渡金屬結合層、M/Cu交替多層過渡層、中頻磁控Cu加厚支撐層以及冷噴加厚Cu層構成。為了克服電鍍銅的污染問題，本發明將電弧離子鍍、中頻磁控濺射、冷噴和真空熱處理等技術聯合使用。本發明充分利用多層復合涂層技術，形成結構和成分漸變，涂層和基體為冶金結合，具有良好的附著力；與常規熱擴散方法相比，本發明采用涂層技術可以大幅度降低基體溫度，但可以獲得更優的銅鍍層；本發明利用石墨烯的高導熱和高導電特性，大幅度提高常規銅涂層的性能。開發出色環保型的陶瓷電路板表面鍍銅技術，工業應用前景良好。
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