本發明公開了一種貴金屬靶材的修復方法,其方法為:將實施濺射后形成具有濺射損耗區的貴金屬靶材進行堿洗除油,清水沖洗,無水乙醇脫水,用上部保護罩和底部保護罩對所述貴金屬靶材實施惰性氣體氬氣保護,用氬弧焊槍的鎢極使與靶材材質相同的絲材和靶材的局部熔化,并堆積在所述損耗區內,這樣反復進行堆積,使所述損耗區逐漸堆平,最終成為堆積態。本發明方法易操作,過程簡單,無污染,成本低;修復過程中貴金屬材料幾乎不損耗,能夠實現靶材的反復使用,大幅度提高了靶材的利用率;修復后的靶材無裂紋,無氣孔;填充的貴金屬材料與原濺射靶的界面為焊接態的冶金結合,不會出現脫層等現象。
聲明:
“貴金屬靶材的修復方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)