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    制造太陽能電池的磷擴散方法

    1153   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:06
    本發明公開了一種制造太陽能電池的磷擴散方法,其特征在于,包括如下步驟:(1)將待處理的單晶硅片在900～950℃氮氣氣氛下進行退火處理20～30分鐘;(2)將上述處理后的硅片在850～1050℃氯化氫氣氛下進行氧化處理,使其表面生成厚度為10至30納米的氧化層;(3)再在850～900℃下通源磷擴散,使得表面方塊電阻控制在40～50歐姆,結深0.2～1.0微米;(4)最后在700～750℃氮氣氣氛下退火處理30～60分鐘,完成單晶硅片的磷擴散處理。本發明可以采用純度為4、5N的單晶硅作為制造太陽能電池的材料,因而,可以利用冶金硅等純度較低的材料,極大地降低了材料成本,有利于單晶硅太陽能電池的普及應用。
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    “制造太陽能電池的磷擴散方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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