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    高純鉭靶材的生產方法

    1054   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:10
    本發明涉及一種高純鉭靶材的生產方法，其包括（1）將大小為5~10mm*5~10mm的鉭塊置于氫化爐中進行吸氫；（2）將吸氫完畢的鉭破碎成-200目的粉末，置于鋼包套中，按一定速率和階段進行升溫和抽氣，之后將鋼包套置于熱等靜壓機中進行燒結，燒結溫度為1100~1500℃，氣氛壓力為50~200MPa，最后機加工，切割成規定形狀，即得。本發明采取粉末冶金的方法并結合特定的工藝條件，可以獲得織構分布均勻、晶粒大小分布均勻且晶粒尺寸小的鉭靶材，該靶材具有高沉積速度和較好的膜均一性，產生出較少的電弧和粒子并具有較好的成膜性能。特別是，本發明的方法的工藝過程簡單，成本較低。
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    聲明：
    “高純鉭靶材的生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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