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    三柵極式離子滲鍍設備及工藝

    1056   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:13
    三柵極式離子滲鍍設備及工藝屬于表面冶金范疇。具體來講是一種在金屬、非金屬固體基材表面形成鍍層、擴散層和擴散層與鍍層復合層的設備和工藝。其特征在于:在可以抽成真空容器中,同軸設置兩個欲濺射元素靶柵極和一個欲沉積或被滲元素的工件柵極,既形成具有PLUME效應、“燒孔效應”的三柵極柵極結構。本設備配置三套高壓直流電源,靶柵極和工件柵極分別接在各自直流電源的陰極,三個電源的陽極接在爐罩和爐底板上。系統工作時,利用三柵極PLUME效應、“燒孔效應”的濺射轟擊加熱作用,實現欲滲元素(金屬或非金屬的)在工件基材表面(金屬或非金屬的)的沉積或滲入。
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