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    采用聯合法制取二氯二氫硅的方法

    798   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:48:01
    本發明公開了采用聯合法制取二氯二氫硅的方法。該法是在歧化法基礎上增加四氯化硅氫化作用工序，使副產物充分利用，在氯氫化作用反應器中，在氫氣和四氯硅烷的存在下，氫氣和四氯硅烷的摩爾比為1：1-4冶金級硅發生氯氫化反應。反應后的氣流中含有二氯二氫硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氫氣及未反應的硅顆粒，經冷凝和精餾進行分離。分離后的四氯硅烷和氫氣再循環使用。通過催化劑固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氫硅和四氯硅烷，歧化后的氣流送到相應的精餾單元進行分離和純化。
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