本發明提出了基于地質勘探的微震動測試儀,設置調制器產生兩路幅值和頻率相同,相位相反的高頻載波信號,并分別連接到MEMS傳感器中差分電容的兩端,差分電容輸出信號再經過相敏解調得到加速度信號,一方面,為了提高微震動測試儀的靈敏度,以及便于后級電路可有效將MEMS傳感器輸出信號從信號噪聲中提取出來;另一方面采用雙路載波的調制方式,在C?V轉換器開環增益夠大時,C?V轉換器內置放大器的反相輸入端電平接近于0,即反相輸入端的輸入電容和雜散電容對測量電路的影響就非常小,同時該電路結構簡單,兩路高頻載波在參數上一致,避免因參數不匹配產生誤差。
聲明:
“基于地質勘探的微震動測試儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)