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    增強鍍膜玻璃耐磨和耐腐蝕性能的濺射靶材及制造方法

    1165   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:50:12
    增強鍍膜玻璃耐磨和耐腐蝕性能的靶材及其制備方法，靶材的主要成分是鋯基材料，靶材形狀和規格不受限制，可以制成旋轉靶材和平面靶材，旋轉靶材用等冷噴涂和等離子噴涂工藝制備，平面靶材用粉末冶金工藝制備靶塊，再拼接綁定成大尺寸靶材；靶材結構致密、成分均勻、導電性好；密度為(5.3～5.9)g/cm3，相對密度均＞90％。該靶材具有良好的濺射性能，弧光穩定，濺鍍速率為(0.5～1.0)nm*m/min，鍍制的鋯基膜層作為保護膜，和相鄰膜層之間有良好的結合力，具有良好的耐磨性和耐候性, 玻璃鍍膜后不需要膜面保護，可長期儲存，便于異地深加工，并有效防止鍍膜玻璃在后續深加工過程中劃傷報廢，合片前不需邊部除膜。
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