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    提高多晶硅的純化和沉積效率的方法和裝置

    692   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:50:23
    本發明提供了由諸如冶金級硅的不純的硅來源商業規模地生產 含有一種或多種定制水平的n-型和p-型雜質的純化多晶硅顆粒的方 法和裝置。該純化系統和方法包括：(1)一個或多個系列的設置有雙 流化床的溫控反應器或容器，其中轉運固體和氣體，以使得通過嚴 格控制溫度和停留時間來實現固體硅的不同程度的純化和沉積；(2) 分離和回收高熔點雜質的化合物，如FeSi和FeI2；(3)純化、分離 和再循環四碘化硅；(4)在連續分餾塔中，由碘回流促進，分離和回 收較低沸點的液體雜質的碘化物，如AlI3；(5)在分餾塔的下游分離 和回收液體混合物中的非常細的固體微粒，包括雜質碘化物和元素 硅；(6)由工藝中的固體和液體碘化物雜質廢物流的氧化回收輸入 碘。
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    “提高多晶硅的純化和沉積效率的方法和裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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