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    基于MEMS工藝的二維薄膜氣體流量傳感器及其加工方法

    1017   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:50:26
    本發明公開一種基于MEMS工藝的二維薄膜氣體流量傳感器及其加工方法：從上往下依次包括有薄膜掩蔽層、薄膜電阻結構、第一薄膜懸空隔離層、硅基底層和第二薄膜懸空隔離層；第一薄膜懸空隔離層襯于硅基底層上方，第二薄膜懸空隔離層襯于硅基底層下方，第一薄膜懸空隔離層的外表面上設有薄膜電阻結構；薄膜電阻結構包括薄膜測溫電阻和薄膜加熱電阻，薄膜加熱電阻位于薄膜懸空隔離層的中心位置，薄膜測溫電阻位于薄膜加熱電阻延展方向的兩側；硅基底層上開設有反應刻蝕溝槽。本發明體積小，重量輕，精度高，響應速度快，功耗低，可批量生產等特點，預期可廣泛應用于用于航空航天、交通、電力、冶金、節能減排等領域，具有極為廣闊的應用前景。
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    “基于MEMS工藝的二維薄膜氣體流量傳感器及其加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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