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    在硬質合金表面制備梯度硬質復合涂層的方法

    794   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:50:26
    本發明為一種在硬質合金表面制備梯度硬質復合涂層的方法，使用雙層輝光等離子體表面合金化設備，以氬氣作為等離子體激發氣體，首先使用難熔金屬絲和石墨板制作的復合靶材作為源極，在硬質合金表面制備難熔金屬及其碳化物復合滲層；然后通入四甲基硅烷和氫氣的混合氣體，通過不斷增加四甲基硅烷的流量，制備包含難熔金屬碳化物和碳化硅的梯度復合涂層；最后再通入甲烷，逐漸增加甲烷流量并同時降低四甲基硅烷的流量，制備碳化硅、金剛石梯度復合涂層。本發明制備的涂層與基體間呈冶金結合，從基體到涂層熱膨脹系數呈梯度分布，具有應力小、結合強度高的特點。同時整個涂層在一種裝置中連續制備完成，工藝簡單、成本低。
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