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    含硅合金靶材及其制備方法

    800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:50:31
    本發明屬于粉末冶金材料制備技術領域，提供一種含硅合金靶材及其制備方法。其靶材成分中硅含量為0<Si(at％)≤80％。本發明采用純度為99.5％～99.95％的鉻粉與純度為99.9％～99.999％的純硅粉機械合金化混合，或采用鉻粉與CrSi合金粉末混合制備合金粉末，將合金粉末冷等靜壓后裝填入包套內，經在加熱狀態下抽真空脫氣并封焊之后進行熱等靜壓處理、機加工等工序，獲得致密度高、顯微組織均勻的CrSi靶材。本發明制備的CrSi靶材，可用于電子、半導體、集成電路、防腐蝕、高耐磨性等鍍膜領域，制備具有低TCR高穩定性、高方阻的電阻薄膜，以及具有良好耐腐蝕性能、高硬度及良好耐磨性能的涂層。
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    “含硅合金靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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