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    柔性光電探測器件的制備方法及柔性光電探測器件

    968   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-02-28 00:50:06
    本發明提供的柔性光電探測器件的制備方法，通過飛秒激光對柔性透明基底的下表面進行微納結構化加工，實現對其上表面的近場光學相干增強效應；然后在此上表面沉積鈣鈦礦薄膜，再在沉積有鈣鈦礦薄膜的表面蒸鍍電極獲取柔性光電探測器件，本發明提供的柔性光電探測器件的制備方法，在未經飛秒激光加工的光滑表面上沉積制備鈣鈦礦薄膜，使光散射界面與鈣鈦礦薄膜材料界面分離，這樣既能使得基底材料實現近場光學增強、提高光活性層的光吸收和量子效率，又能保證光活性層的致密性和完整性，減少材料缺陷對器件性能的不利影響，工藝簡單。
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