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    可用于高速光電探測的Bi(Fe,Zn)O3/NiO全氧化物薄膜異質結

    761   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-02-28 01:00:06
    本發明提供一種基于鋅摻雜鐵酸鉍/氧化鎳材料的全氧化物薄膜異質結,屬于半導體器件技術領域。本發明公開了一種精確制備鋅摻雜鐵酸鉍/氧化鎳薄膜異質結的方法,所述的異質結采用溶膠凝膠技術,可精確控制各層元素化學計量比、同時保證各層薄膜良好的結晶性及均勻致密的形貌,可控性強、工藝簡單、制備效率高。本發明實現了鋅摻雜鐵酸鉍與氧化鎳的良好匹配、耦合形成異質結結構,利用鐵酸鉍極化電場和異質結內建電場相結合促進光生載流子輸運,獲得可見光范圍內高速光電響應特性,可用于制作相關半導體光電探測器件,對氧化物鈣鈦礦薄膜在半導體器件領域的實用化具有重要意義。
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