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    軸承鋼表面Ta薄膜的制備方法

    1118   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:51:06
    本發明屬于表面膜層強化技術領域，特別涉及一種軸承鋼表面Ta基薄膜的制備方法，首先將軸承鋼表面的預處理，將軸承鋼表面打磨、拋光后置于有機溶劑中超聲清洗并吹干；然后將工件在真空狀態下進行表面濺射清洗，并在工件表面進行非金屬離子注入；再將Ta表面進行濺射清洗，并將上述工序得到的工件表面沉積Ta基薄膜；最后將Ta基薄膜進行非金屬離子注入。采用本發明方法得到的軸承鋼的硬度高、耐磨性好，經過測試，軸承鋼的硬度至少提高了80%，磨損率下降了65%左右，有效延長了軸承鋼的使用壽命。而且所制備的薄膜與基體間沒有明顯的界面，能夠實現冶金結合，提高了結合力，同時也提高了工件的硬度。
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