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    濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法

    1191   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:51:16
    本發明公開了一種濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法，包括1)取粉末冶金燒結鉬板坯，加熱至1485～1495℃，以48～52m/min的軋制速度進行二火次六道次熱軋得鉬板A；2)取鉬板A，以38～42m/min的軋制速度進行三道次冷軋，退火得鉬板B；3)取鉬板B加熱至845～855℃，以90～100m/min的軋制速度進行軋制，后進行平整，即得。本發明的軋制方法，所得鉬板帶成品規格較大，純度高，密度大，晶粒間隙小，致密度均勻，平均晶粒尺寸小，各向異性小晶粒均勻，表面平直度高，具有優異的表面質量和使用性能，滿足了大型化和高精細化LCD面板制造用濺射鉬靶材對規格和使用性能的要求，適合推廣應用。
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    “濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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