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    高純碳化硅原料的制備方法

    1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:51:19
    本發明提供一種高純碳化硅原料的制備方法，所述方法包括如下步驟：提供高純硅粉和高純碳粉；所述高純硅粉和高純碳粉充分混合后放置于坩堝，于1400-2200℃的高溫爐中形成一次碳化硅料，所述一次碳化硅料壓碎后在氧化爐中經過600-1400℃的高溫氧化，形成二次碳化硅料；所述二次碳化硅料在高真空爐中經過800-1600℃高溫真空脫氣，形成三次碳化硅料；所述三次碳化硅料經過濕法化學冶金處理，得到高純碳化硅原料。
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    “高純碳化硅原料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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