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    基于石墨烯的寬波段探測器結構及其制作方法

    835   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-02-28 01:00:08
    本發明涉及一種基于石墨烯的寬波段探測器結構及其制作方法，該結構從下到上依次包括硅襯底、反射層及絕緣層，絕緣層上形成有金屬天線和電極，金屬天線和電極上形成有石墨烯層，石墨烯層覆蓋部分電極和全部金屬天線圖形，石墨烯層上形成有鈣鈦礦量子點層，鈣鈦礦量子點層完全覆蓋石墨烯層。本發明利用石墨烯和鈣鈦礦量子點結合實現對可見光與近紅外輻射的探測，且鈣鈦礦量子點層對可見光、近紅外波段的紅外輻射有較強的吸收能力；利用金屬天線與石墨烯結合實現對中紅外與遠紅外輻射的探測，且特定的金屬天線結構對中紅外與遠紅外波段的紅外輻射有較強的吸收能力；解決了傳統石墨烯光探測器探測能力弱和金屬天線探測波段窄的問題。
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    “基于石墨烯的寬波段探測器結構及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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