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    用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置

    704   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:51:24
    本實用新型公開了一種用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置，屬于羰化冶金生產領域，解決了加熱溫度的不均勻導致的鎳層厚度的不均勻的問題。本實用新型包括串聯在導熱油管道上的氣瓶加熱室、第一導熱油泵和導熱油加熱器，氣瓶加熱室內安裝有至少一個待沉積氣瓶。本實用新型利用導熱油不斷循環對氣瓶加熱室內的多個氣瓶同時進行加熱，可實現氣瓶的MOCVD均勻沉積產品的批量生產，生產效率高；本實用新型通過油浴對氣瓶進行均勻加熱，使氣瓶中所形成的鍍鎳層均勻、致密、光滑，能夠充分滿足氣瓶內部的潔凈度要求，且其中所形成的鍍鎳層雜質含量低，可滿足特種氣體的使用需求。
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    “用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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