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    單晶硅棒端面研磨盤

    1238   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:51:54
    本實用新型公開了單晶硅棒端面研磨盤，它包括可隨旋轉主軸（15）轉動的中間盤（12）、與中間盤固定相連的上模板（6）和下模板（7）、以及固定設置在下模板上的研磨層（9），所述中間盤內設置有可通入研磨液的貯液腔（13），貯液腔與進液管（11）上端相通，進液管下端穿過上模板和下模板與研磨層上的分液腔（8）相通，所述研磨層用拋光布制成。研磨的單晶硅棒端面受速高轉動研磨，其端面上溫度分布均、散熱快，熱應力小，不會產生微小裂紋和其他損傷，因而提高了單晶硅棒端面研磨質量，提高了研磨效率，又降低了研磨成本。本實用新型結構緊湊、操作方便，主要用于單晶硅棒端面研磨外，還可用于多晶硅棒端面、陶瓷、冶金粉末的研磨。
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    “單晶硅棒端面研磨盤” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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