本發明公開了一種基于計算傳熱學模擬的碳化硅真空燒結爐優化方法,包括以下步驟:根據真空燒結爐體參數建立真空燒結爐在加熱過程中熱輻射和熱傳導模型;進行計算傳熱學模擬,得到了真空燒結爐在整個加熱過程中的溫升曲線;通過計算對比不同加熱速率、不同石墨加熱管直徑、不同石墨加熱管與有效加熱區間距下的工件溫升曲線、頂點工件與中心工件溫差、同一工件表面與心部溫差,對原爐型進行優化。本發明通過研究不同加熱速率、不同石墨加熱管直徑、不同石墨加熱管與有效加熱區的間距對真空燒結爐加熱效率及爐溫均勻性的影響,為真空燒結爐的性能優化提供參考,符合碳化硅真空燒結爐工藝生產要求,且提高了加熱系統的加熱效率和爐溫均勻性。
聲明:
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