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    石英玻璃棒溫度和功率聯合控制真空燒結方法

    789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:57:02
    本發明公開了一種石英玻璃棒溫度和功率聯合控制真空燒結方法，升溫至燒結溫度前，加熱電源采用溫度PID控制模式，達到燒結溫度10min后，程序自動切換至功率控制模式，以避免因紅外測溫不準，而造成石英玻璃棒因實際溫度過高造成的玻璃棒拉長報廢的問題，燒結階段Phase結束后，程序再自動切換至溫度PID控制模式；根據上一爐燒結運行數據，各段紅外測溫溫度和加熱電源功率輸出，對下一爐燒結配方recipe數據進行修正；本發明采用溫度和功率聯合控制控制，可實現真空燒結多段紅外溫度與實際溫度相差較大時，仍可燒結出均勻性較好的石英玻璃棒，以提高真空燒結設備使用率和石英玻璃棒成品合格率。
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