本實用新型提供一種真空燒結爐用石墨承燒底板,包括:第一平板;第二平板,與所述第一平板相互平行;支撐架,位于所述第一平板與所述第二平板之間,用于支撐、固定所述第一平板和所述第二平板,由相互垂直交錯設置的固定板組成,所述固定板垂直于所述第一平板和所述第二平板設置。本實用新型提供的真空燒結爐用石墨承燒底板,在承載樣品的情況下依然保持優異的平面精度,可以滿足大尺寸碳化硅陶瓷部件微小變形燒結的要求。
聲明:
“真空燒結爐用石墨承燒底板” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)