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    氮化硅生產用真空燒結爐

    1216   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:57:02
    本實用新型提供一種氮化硅生產用真空燒結爐，包括爐體，爐體的一側密封鉸接有爐門，爐體的一側設有第一抽氣管，第一抽氣管的內部設有密封蓋，第一抽氣管上設有第二抽氣管，第二抽氣管的另一端連有抽氣泵，爐體的頂部一側設有氮氣罐，氮氣罐上連有氮氣輸送管，氮氣輸送管的另一端轉動連接有第三管道，第三管道的另一端伸入到爐體的內部并與氮氣布氣管連通，氮氣布氣管的下側設有多個布氣支管，布氣支管上設有若干出氣口，爐體的頂部另一側設有出氣管，出氣管上設有排氣閥，出氣管的另一端伸入到爐體頂部設有的水箱中，水箱的內部設有第一管道，第一管道的一端與出氣管相連，第一管道的另一端連有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部。
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    “氮化硅生產用真空燒結爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    真空冶金
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