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    真空感應化學氣相沉積/滲透系統分布式控制裝置

    785   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:57:02
    一種真空感應化學氣相沉積/滲透系統分布式控制裝置屬于自動控制領域。本發明裝置包括上位機、協議轉換器、溫度控制器、DA轉換模塊、真空計、質量流量控制器和可編程控制器,當可編程控制器的個數大于1時還包括適配器。上位機分別與可編程控制器、協議轉換器相連,當可編程控制器的個數大于1時通過適配器與上位機相連,協議轉換器分別與溫度控制器、DA轉換器相連,DA轉換器與真空計、質量流量控制器相連。上位機嵌入了系統登錄模塊、控制系統界面模塊、串口通信模塊、溫度控制模塊、流量控制模塊、真空度采集模塊和數據存儲模塊。本發明通訊、數據處理能力強;控制系統的結構易于調整、升級,抗干擾能力強;通用性強。
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    真空冶金
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