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    在石墨模板上大面積沉積碳化硅薄膜的制備方法

    816   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:58:54
    本發明公開了一種在石墨模板上大面積沉積碳化硅薄膜的制備方法，首先將氮化硅粉末和碳化硅粉末按照適當比例混合，添加無水乙醇在研砵中研磨，經清洗、干燥后將粉體裝入匣缽中真空燒結，燒結溫度為1900℃以上，保溫時間為1h。本發明方法涉及的條件可控、操作簡便、反應條件溫和，所得碳化硅薄膜面積大且具有優異的穩定性，使得石墨模具壽命大大提高，為玻璃加熱石墨模板改性技術提供了一條新途徑，具有重要的經濟和工程價值。
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    真空冶金
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