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    無需刻蝕的AMB直接成型方法

    715   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:58:54
    本發明涉及半導體加工技術領域。一種無需刻蝕的AMB直接成型方法，包括如下步驟：步驟一，使用精雕機在銅片的圖案周邊雕刻出凹槽；步驟二，使用絲網印刷、涂覆或覆膜設備在銅片上需要鍵合的區域涂裝釬焊材料；步驟三，將銅片與瓷片對位固定；步驟四，真空燒結；步驟五，使用雕刻機刻穿所述銅片上開設有凹槽處，實現開設有凹槽處的銅片上下貫穿；剝離表面銅片上未釬焊處的銅材。本發明用精雕工藝替代刻蝕工藝,無需刻蝕就可得到產品圖形。簡化生產流程，縮短生產時間；同時去除刻蝕工序后，減少了對環境的污染。
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    聲明：
    “無需刻蝕的AMB直接成型方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    真空冶金
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