本發明公開了一種高鈧含量鋁鈧合金靶材及其制備方法。其中方法包括:選取金屬鋁和金屬鈧,并配料;將金屬鈧熔化,然后將金屬鋁分多次逐步加入到金屬鈧中熔煉,多次熔煉后冷卻得到鋁鈧合金;將所述鋁鈧合金進行球磨,真空干燥得到合金粉,然后經預壓制和真空燒結得到鋁鈧合金靶坯;將得到的鋁鈧合金靶坯進行熱變形加工,得到鋁鈧合金靶材,所述熱變形加工包括熱鍛、熱軋、以及精加工。采用本發明使得鋁鈧合金靶材組織和化學成分更均勻,相對密度更高,達到99.0%以上,晶粒尺寸更細小,延展性更高;采用本發明還減少了縮孔、疏松缺陷;節省了原料成本;解決了合金脆性大,不能加工靶材的難題;可滿足大規模集成電路用配線材料的需求。
聲明:
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