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    離子源

    854   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:59:02
    提供無需解除下游側設備的真空就能夠更換靶材的離子源。靶材（13）配置在被排氣成真空的真空容器（10）內，且通過激光的照射產生離子。具有輸送管（17）、小孔（18）、中間電極（19）以及加速電極（20）的輸送部將由靶材產生的離子朝與離子源連接的下游側的設備輸送。在更換配置于真空容器（10）內的靶材時，真空密封用盤（24）對輸送部進行密封，以將真空容器（10）側與下游側的設備側的真空分離。
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    聲明：
    “離子源” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    真空冶金
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