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    高純磷烷規?；B續生產方法和裝置的研制

    991   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:59:02
    本發明是一種制備高純磷烷規?；B續生產方法和裝置的研制，屬于電子氣體制備純化技術領域；該方法包括步驟(1)、粗制磷烷的制備過程：先用亞磷酸加熱反應得到粗制磷烷；和(2)、高純磷烷的純化過程：對粗制磷烷采用液氮冷阱低溫真空分離、分子篩吸附干燥和鎵?銦合金深吸附脫水、氧。本發明所述的方法能深度脫除氧、水和碳氫化合物等電子材料中有害雜質，一般可以達到0.01～0.1ppm以下；純化劑主體鎵?銦合金可以反復使用，使用壽命除化學處理稍許損失外，理論上具有很長的使用壽命。
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