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    高致密度高含量鉬鈮合金靶材的制備工藝

    981   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:00:01
    本發明公開了一種高致密度高含量鉬鈮合金靶材的制備工藝，所述制備工藝的原材料由按質量百分比計量的以下組分組成：鈮粉5％?15％，余量為鉬粉；稱取所述鈮粉的一部分，通過鈮的氫化工藝制取得到二次氫化鈮；所述二次氫化鈮與所述原材料的質量比為0.1：100?3：100，所述二次氫化鈮呈粉末狀，顆粒粒徑D90≤50μm。本發明利用二次氫化鈮的活化作用，并通過控制制取二次氫化鈮的工藝參數，采用粉末冶金工藝直接制備高致密度高含量鉬鈮合金濺射靶材。
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    “高致密度高含量鉬鈮合金靶材的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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