本發明公開了一種利用晶硅切割廢砂漿制備碳化硅粉體的方法,具體過程為:首先,向晶硅切割廢砂漿中加入有機溶劑,溶解廢砂漿中的聚乙二醇,過濾并烘干濾餅;然后,研磨濾餅成粉狀,加入稀鹽酸反應,反應完全后過濾,除去微量的金屬雜質,得到硅與碳化硅的混合粉體;接下來,向混合粉體中加入過量碳源,并通過機械球磨使粉體均勻混合;最后,在一定溫度范圍內,真空或惰性氣氛熱處理混合粉體使硅與碳發生碳化反應,反應完全后在空氣中除去殘留碳,最終得到高純碳化硅粉體。本發明簡化了傳統晶硅切割廢砂漿回收方法中復雜的工藝流程,并通過較為簡單的方法使晶硅切割廢砂漿中的硅最終全部轉化為碳化硅,使資源得以再利用,并且減少了環境污染。
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