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    高世代鉬靶材的生產方法

    844   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:00:02
    本發明公開了一種高世代鉬靶材的生產方法，該生產方法包括：1、將兩種粒徑范圍不同的鉬粉在真空條件下混合，過篩后得到混合粉料；2、將混合粉料進行等靜壓處理；3、燒結處理；4、熱軋處理；5；真空退火；6、水切割、銑削加工、磨床加工。通過該方法得到的鉬靶材的長度可達3500mm以上，厚度≤30mm，寬度≤600mm，平面度小于0.08mm，鉬含量≥99.97％，該生產方法的生產效率高，所得高世代鉬靶材的致密度≥99.5％，鉬靶材內部組織無氣孔、裂紋、分層、夾雜等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶?！?0um，晶粒均勻，可作為G10.5代線平面顯示器生產的高純鉬靶；本發明提供的高世代鉬靶材的生產方法，制備方法簡單，生產成本較低，成品率高，有利于工業化生產。
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    聲明：
    “高世代鉬靶材的生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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