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    釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置

    778   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 15:01:01
    本發明涉一種釹鐵硼重稀土滲透方法及其裝置,包括主體、中頻電源、冷卻液循環裝置、補氣裝置與抽真空裝置,主體為密閉結構,中頻電源固定在主體外部,中頻電源通過電源線分別連接有左銅極板和右銅極板,基板安裝在主體內部,基板接地,冷卻液循環裝置、補氣裝置和抽真空裝置均固定在主體外部,并通過各自的管路與主體連接,左靶材固定在左銅極板上,右靶材固定在右銅極板上。本發明采用中頻孿生靶濺射技術,沉積速率非???,是直流單靶的數倍;膜內缺陷低,本發明裝置采用滾筒式結構,可以讓工件表面沉積的鍍膜更均勻,多靶頭以及可旋轉靶頭的設計,不但可以充分利用裝置內部空間,還可實現靶源的快速切換,減少靶材的更換頻率,提高生產效率。
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