本發明涉及一種工業硅精煉提純技術。一種工業硅真空電磁感應懸浮蒸餾精煉提純方法,在真空電磁感應懸浮蒸餾爐內,將工業硅料在蒸發器中被電磁感應線圈感應加熱蒸餾,經過一段時間蒸餾完成精煉提純,得到精煉提純后的硅液,其特殊之處是:電磁感應線圈是電磁感應懸浮線圈;蒸餾中之工業硅料呈電磁感應懸浮狀態;精煉提純后的硅液落入坩堝或于電磁感應懸浮中降溫凝固后落入坩堝成為產品:工業硅料可是熔融液態的或固態的,其純度為Si含量大于99.4%:電磁感應懸浮線圈的組成結構可與現有的工業硅真空電磁感應懸浮熔煉爐之相同;蒸餾溫度和真空度可是1400℃-2000℃和10-1-10Pa:工業硅料是固態時,可先在爐外預熱到600℃以上??色@得高純工業硅。
聲明:
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