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    鈦硅鉬合金靶材及其制備方法

    794   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:01:02
    本發明公開了一種鈦硅鉬合金靶材及其制備方法，其制備方法包括：將硅粉和鉬粉在真空或高純氬氣保護下混合；將混合后的鉬?硅粉末燒結，獲得鉬硅合金塊；將所述鉬硅合金塊破碎成鉬硅合金粉；將鈦粉與所述鉬硅合金粉在真空或高純氬氣保護下混合；將混合均勻的所述鈦粉與所述鉬硅合金粉進行冷等靜壓壓制，獲得鈦硅鉬合金坯料；將所述鈦硅鉬合金坯料裝入包套中，進行脫氣處理；將經脫氣處理的包套封焊后，通過熱等靜壓燒結獲得合金錠坯；將壓制后的所述合金錠坯依次進行機加工和清洗，獲得鈦硅鉬合金靶材。本發明制得的鈦硅鉬合金靶材具有致密度高、無氣孔和偏析，組織均勻，晶粒細小，規格尺寸多等優點。
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