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    高可靠抗輻照玻璃鈍化電壓調整二極管制造方法

    1013   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 15:01:02
    本發明提供的一種高可靠抗輻照玻璃鈍化電壓調整二極管制造方法,采用鉬或鎢作為電極引線,管芯采用鋁作為焊料,芯片采用深結擴散工藝,臺面造型為正斜角造型,該芯片結構降低表面電場,同時在進行玻璃鈍化封裝前,采用酸、堿腐蝕工藝及鈍化工藝對芯片臺面進行保護,然后采用特殊玻璃粉進行高溫鈍化封裝成型;本發明芯片成正斜角,降低了器件的表面電場,提高了芯片表面的穩定性;在芯片腐蝕過程中最大限度的清潔了芯片表面,減少了界面電荷的影響,使器件具有良好的雪崩擊穿性能,提升產品的可靠性;由于鈍化層較厚,同時具有一定的含鉛量使產品能在輻照條件下穩定工作。
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