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    含有摻雜劑元素的石墨靶材的制備方法

    858   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:02
    一種含有摻雜劑元素的石墨靶材的制備方法，它涉及一種石墨靶材的制備方法。它解決了目前傳統方法制備的石墨靶材產生大量宏觀粒子、降低了作為陰極電弧源所制得的非晶金剛石薄膜的質量以及高壓石墨靶產生的等離子體束強度弱、熔覆效率低、易裂開以及電阻率高的問題。制備：(一)稱取石墨粉末和摻雜劑元素粉末進行球磨；(二)真空干燥混合粉末；(三)抽出塑料橡膠套與鋼性圓筒內壁間的空氣；(四)灌粉；(五)預壓，然后再冷等靜壓；(六)卸壓；(七)燒結；(八)冷卻，即得到含有摻雜劑元素的石墨靶材。本發明制備出的含有摻雜劑元素的石墨靶材質量密度達2.06g/cm3，內部殘留的氣體少，電弧斑點直徑僅為1～5μm，而且電阻率≤7.8×10－5Ω·cm，所制成的含有摻雜劑元素的石墨靶電弧放電電流穩定。
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