本發明公開了一種具有復合吸液芯結構的超薄均熱板及其制作方法,包括蒸發板和冷凝板,在蒸發板的內表面上設置有凹腔,凹腔內設置有第一毛細結構和第二毛細結構;所述第一毛細結構是與蒸發板一體加工的微通道槽道結構,第二毛細結構為通過燒結成型的多孔金屬結構;在冷凝板的內表面上設置有第三毛細結構,第三毛細結構是具有發射狀的圓周陣列微通道;本發明的制作方法包括蒸發板凹腔及第一毛細結構一體加工,第二毛細結構燒結,冷凝板加工,清洗及密封焊接以及抽真空注液。本發明的具有復合吸液芯結構的均熱板具有厚度薄,滲透率大,支撐強度大,散熱效率高,可逆重力的特點。
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