本發明公開了一種真空規管,所述真空規管包括電阻規管、冷陰極電離規管、置于真空規管外側的永磁組件、用以連接真空測量設備與真空規管的高壓插座,所述真空規管還包括法蘭組件、陽極組件;所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體,所述管體設有安裝電阻規管和陽極組件的腔室;所述陽極組件包括壓板、已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿,所述壓板上設有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規管、陶瓷組件的腔室;采用所述真空規管其測量范圍可以達到105Pa-10-7Pa, 拓展了冷陰極電離規管的測量上限。
聲明:
“真空規管” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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