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    鍍膜對位裝置和鍍膜系統

    1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:22
    本發明公開了一種鍍膜對位裝置和鍍膜系統，用以降低生產成本，提高鍍膜精度。所述鍍膜對位裝置，包括靜電吸附裝置、夾持機械手和對位裝置，其中：所述靜電吸附裝置用于吸附待鍍基板和掩膜板；所述夾持機械手用于夾持掩膜板的兩端，并在所述對位裝置對位后，將所述掩膜板貼附在所述待鍍基板上；所述對位裝置用于通過所述掩膜板上的對位標和所述待鍍基板上的對位標對所述掩膜板和所述待鍍基板進行對位。
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    真空冶金
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